enderezo

1666 Jianye Road, zona de alta tecnoloxía, cidade de Leshan, provincia de Sichuan, China.

número de teléfono +86 15390206217
CORREO ELECTRÓNICO sale@sanjiangchem.com

Química para procesos de semicondutores

cc09bd33a0ddd2aaadac4a8a4d3008a1A fabricación de semicondutores é en gran parte un proceso relacionado químicamente, sendo ata o 20% das etapas do proceso a limpeza e a preparación da superficie da oblea:

Estamos afeitos a referirnos aos materiais químicos empregados na fabricación das obleas como produtos químicos de proceso, que se presentan en diferentes formas químicas (líquida e gasosa) e están estrictamente controlados na súa pureza.As principais funcións destes produtos químicos de proceso son as seguintes:

Limpar a superficie da oblea con solución química húmida e auga ultrapura;

Dopando as obleas de silicio con ións de alta enerxía para obter materiais de silicio de tipo P ou N;

Deposición de diferentes capas condutoras metálicas e capas dieléctricas necesarias entre capas condutoras;

Xera unha fina capa de SiO2 como material dieléctrico de porta principal dos dispositivos MOS;

Use gravado con plasma mellorado ou reactivos húmidos para eliminar selectivamente os materiais e formar o patrón desexado na película;

Os reactivos líquidos de alta pureza clasifícanse en tres graos: UP-S, UP e EL segundo a súa pureza, e EL divídese ademais en:

Grao electrónico 1 (EL-Ⅰ)
ten un contido de impurezas metálicas de 100-1000 PPb, o que é equivalente ao estándar SEMI C1 C2;

Grao electrónico 2 (EL-Ⅱ)
o seu contido de impurezas metálicas é de 10-100 PPb, equivalente ao estándar SEMI C7;

Grao electrónico 3 (EL-Ⅲ)
ten un contido de impurezas metálicas de 1-10 PPb, o que é equivalente ao estándar SEMI C7;

Grao electrónico 4 (EL-IV)
ten un contido de impurezas metálicas de 0,1-1PPb, o que é equivalente ao estándar SEMI C8;

Os reactivos ultralimpos e de alta pureza son coñecidos internacionalmente como produtos químicos de proceso, tamén coñecidos como produtos químicos húmidos, e son un dos materiais químicos básicos fundamentais no proceso de produción de circuítos integrados (IC) e circuítos integrados a moi grande escala (VLSI). .Tamén se usa para limpar e gravar a superficie da oblea de silicio.A pureza e limpeza dos reactivos ultra-limpos e de alta pureza teñen un impacto moi importante sobre o rendemento, as propiedades eléctricas e a fiabilidade dos circuítos integrados.Hai moitas variedades de produtos químicos de calidade electrónica e requisitos técnicos elevados.Está baseado no desenvolvemento da tecnoloxía microelectrónica.Co desenvolvemento da tecnoloxía microelectrónica, desenvólvese de forma sincronizada ou antes do tempo.Ao mesmo tempo, restrinxe o desenvolvemento da tecnoloxía microelectrónica.


Hora de publicación: 23-Xun-2022